電子真空調(diào)節(jié)器允許通過計(jì)算機(jī)化指令信號進(jìn)行真空控制。命令信號先被發(fā)送到一個(gè)小型電子調(diào)節(jié)器,該調(diào)節(jié)器會向圓頂負(fù)載式平衡桿真空調(diào)節(jié)器 (EVR) 的參考端口產(chǎn)生先導(dǎo)信號,以控制過程壓力。
EVR系列是一種非減壓型真空調(diào)節(jié)器,可對真空供應(yīng)泵和工藝之間的流量進(jìn)行節(jié)流,以便將工藝真空準(zhǔn)確控制到特定的設(shè)定值。
-min:1E-03
-max:1.2