COORSTEK碳化硅陶瓷TPSS

 TPSS 產(chǎn)品具有高純度、高強度和高耐腐蝕性等多種特性，TPSS是一種導(dǎo)電材料，不易產(chǎn)生靜電。適用于半導(dǎo)體熱處理爐的爐芯管、熱平衡管、舟和叉。 此外，還提供采用 CVD 方法在產(chǎn)品表面鍍上一層超純致密碳化硅膜的產(chǎn)品，以滿足用戶的各種需求。

高純度、高強度

高耐腐蝕性

均勻加熱

耐熱震性

抗氧化性

產(chǎn)地：日本

比熱（室溫，J/gK）：0.69

線膨脹系數(shù)（×10 ^-6 /K）：4.3（室溫～1000℃）

導(dǎo)熱系數(shù)（室溫，W/mK）：175

耐熱震溫度（△T、℃）：400

表層材質(zhì)：CDV碳化硅膜

體積電阻率（Ω厘米）：10^-1

按等級進行化學(xué)分析：TPSS-U

Fe 2.5  Al 0.5  Na 0.2  K 0.2  Ca 0.7  Cu <0.01  Cr 0.1  Ni 0.3

表層材料熱膨脹系數(shù)：碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9

硝酸和氫氟酸的混合酸溶液：不會被腐蝕

爐芯管、熱平衡管、舟和叉