WASCO裝配開關UHP150-3

UHP150 系列自 1989 年以來，具有客戶一直信賴的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外，還采用了全不銹鋼傳感器。UHP150 系列采用 Wasco 專有的制造方法，消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇，精度高，公差小。我們設計的 UHP150 系列適用于半導體設備等高純度應用。UHP150 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標準，所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。UHP150 系列在 100 級潔凈室中制造和包裝。

為超 高純應用（如半導體設備）設計

符合標準 SEMI F1

所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

在 100 級潔凈室內(nèi)制造和包裝

UHP150-3 Max系統(tǒng)壓力：30 PSIG

UHP150-5 Max系統(tǒng)壓力：125 PSIG

UHP150-8 Max系統(tǒng)壓力：250 PSIG

UHP150-15 Max系統(tǒng)壓力：500 PSIG

可提供其他壓力范圍

可提供其他配置表面安裝

可提供其他配置外螺紋端面密封

產(chǎn)地：美國

Max系統(tǒng)壓力：30 PSIG

設定點范圍：1.0-30 PSIG

設定點公差：± 0.7 PSI

復位范圍：0.7-2.3 PSI

接頭：316L SS

膜片：17-7PH SS

使用壽命：≥ 1,000,000 次

防護等級：IP 65

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-65至 225 °F；-54 至 107 ℃

表面貼裝：IGS

端面密封：1/4 " 外螺紋

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導體設備、氣體過濾系統(tǒng)