400-888-1375

WASCO壓力開(kāi)關(guān)SP120-3

產(chǎn)品介紹

SP120 系列的可靠性和性能自 1989 年以來(lái),一直深受行業(yè)客戶的信賴。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。SP120 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們?yōu)榘雽?dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)了這些開(kāi)關(guān)。SP120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn),所有開(kāi)關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec。

性能特點(diǎn)

為半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)

不含任何彈性體或 O 形圈

符合SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)

經(jīng)過(guò)氦氣泄漏測(cè)試

氦氣泄漏量 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

選型指南

SP120-3 Max系統(tǒng)壓力:30 PSIG

SP120-5 Max系統(tǒng)壓力125 PSIG

SP120-8 Max系統(tǒng)壓力:250 PSIG

SP120-15 Max系統(tǒng)壓力:500 PSIG

可選功能與配件

可提供其他配置外螺紋端面密封和飛線

可提供其他配置外殼

可提供其他壓力范圍

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

Max系統(tǒng)壓力:30 PSIG

設(shè)定點(diǎn)范圍:1 - 30 PSIG

設(shè)定點(diǎn)公差:± 0.7 PSI

復(fù)位范圍:0.7 - 2.3 PSI

潤(rùn)濕元件接頭:316L SS

膜片:17-7PH SS

使用壽命:≥ 1,000,000 次

防護(hù)等級(jí):IP 65

泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作溫度:-65至 225 °F;-54 至 107 ℃

端面密封:1/4 " 外螺紋

外殼:9 針

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備


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