WASCO真空開(kāi)關(guān)SV120-3

自 1989 年以來(lái)，業(yè)界客戶一直信賴 SV120 系列產(chǎn)品的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外，還采用了全不銹鋼傳感器。SV120 系列采用 Wasco 專(zhuān)有的制造方法，消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇，精度高，公差小。我們?yōu)榘雽?dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)了這些開(kāi)關(guān)。SV120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)，所有開(kāi)關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試值均為≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

為半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)

不含任何彈性體或 O 形圈

符合SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)

氦氣泄漏測(cè)試值均為≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

SV120-3 設(shè)定點(diǎn)范圍：1.6 - 25.0 inHg

SV120-5 設(shè)定點(diǎn)范圍：6.0 - 29.5 inHg

可提供其他配置帶 1/4" 面密封和飛線

可提供其他配置帶 KF25 接頭和 9 針

產(chǎn)地：美國(guó)

Max系統(tǒng)壓力：30.0 inHg

設(shè)定點(diǎn)范圍：1.6 - 25.0 inHg

設(shè)定點(diǎn)公差：± 1.2 inHg

典型復(fù)位帶：1.0 - 4.6 inHg

潤(rùn)濕元件 接頭：316L SS

膜片：17-7PH SS

使用壽命：≥ 1,000,000 次

防護(hù)等級(jí)：IP 65

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備