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WASCO真空開關(guān)SV120-3

產(chǎn)品介紹

自 1989 年以來,業(yè)界客戶一直信賴 SV120 系列產(chǎn)品的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。SV120 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們?yōu)榘雽?dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計了這些開關(guān)。SV120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn),所有開關(guān)的氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec。

性能特點

為半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計

不含任何彈性體或 O 形圈

符合SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)

氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec

選型指南

SV120-3 設(shè)定點范圍:1.6 - 25.0 inHg

SV120-5 設(shè)定點范圍:6.0 - 29.5 inHg

可選功能與配件

可提供其他配置帶 1/4" 面密封和飛線

可提供其他配置帶 KF25 接頭和 9 針

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

Max系統(tǒng)壓力:30.0 inHg

設(shè)定點范圍:1.6 - 25.0 inHg

設(shè)定點公差:± 1.2 inHg

典型復(fù)位帶:1.0 - 4.6 inHg

潤濕元件 接頭:316L SS

膜片:17-7PH SS

使用壽命:≥ 1,000,000 次

防護(hù)等級:IP 65

泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作溫度:-65 至 225 °F;-54 至 107 °C

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備


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