SENS4真空傳感器VPM-7

VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖定壓力控制和其他需要準(zhǔn)確測量相對于大氣環(huán)境壓力的真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖定傳感器和其他負(fù)載鎖定傳感器解決方案相比，它具有同類更高的性能，測量范圍更廣、精度更高、測量周期更快。SmartPirani ATM 基于一項(xiàng)正在申請?jiān)S可的技術(shù)，該技術(shù)將導(dǎo)熱性皮拉尼熱損失真空計(jì)的可用測量范圍擴(kuò)大了 1-3 倍，從而確立了新的標(biāo)準(zhǔn)。 一體化多傳感器傳感器解決方案，VPM-7 是一款多傳感器傳感器，具有四個(gè)壓力輸出，結(jié)合了氣壓環(huán)境傳感器、寬量程熱損耗皮拉尼真空計(jì)、膜片傳感器和相對于大氣壓力的信號(hào)，可優(yōu)化現(xiàn)代負(fù)載鎖定真空室的壓力控制。隔膜傳感器的讀數(shù)不受氣體影響，Abs壓力范圍為 2 至 1333 mbar。

超寬測量范圍達(dá) 9 個(gè)量程

準(zhǔn)確的大氣開關(guān)功能

可靠的固態(tài)繼電器控制

氣壓環(huán)境壓力測量

0-10 VDC 可編程電壓輸出，可與其他供應(yīng)商仿真

數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

StableZero 漂移補(bǔ)償

可直接替換 MKS 901P

用于診斷的真空溫度傳感器

RGB LED 彩色壓力指示燈

可選耐腐蝕版本

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號(hào) +

6 模擬電壓信號(hào) - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點(diǎn)）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點(diǎn)）

13 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產(chǎn)地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率（熱損失）

測量原理 2 至 1,333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片（與氣體無關(guān)）

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS 皮拉尼/壓電讀數(shù)

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數(shù)的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99 mbar：讀數(shù)的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar：讀數(shù)的 1 %

精度 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %

精度 1,100 至 1,333 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

Max測量分辨率：1.0E^-7 mbar

氣壓測量范圍：300 至 1,200 mbar

氣壓精度：+/- 0.5 mbar

大氣參考?jí)毫敵龇秶?1333 至 + 300 mbar

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃

輸出信號(hào) 1：1 VDC / 十進(jìn)制（1.0E^-6 mbar 時(shí)為 0.5VDC）

輸出信號(hào) 2（MKS 901P、910、925 仿真）：1 VDC /10 年（1.0E^-5 托時(shí)為 1.0 VDC）

輸出信號(hào) 3（MKS GP 275 Convectron）：0.375 至 5.659 VDC

輸出信號(hào) 4 (MKS 523)：0.5 VDC / 十進(jìn)制 (MKS 523)

輸出信號(hào) 5 (Inficon PSG500, PSG502, PSG510, PSG512)：1.9 - 10 VDC (Inficon PSG55x, Leybold TTR91)

輸出信號(hào) 6 (Leybold TTR91, TTR96, TTR101)：1.5 至 8.5 VDC (Pfeiffer TPR260/27x/28x)

輸出信號(hào) 7（MKS GP 275 Convectron）：1.9 至 9.1 VDC

輸出信號(hào) 8 (MKS GP 390 MicroIon)：0.5 VDC / 10

輸出信號(hào) 9（MKS 971、972、974B）：0.5 VDC / 十進(jìn)制（MKS 971B、972B、974B）

輸出信號(hào) 10（Inficon Gemini 輸出 1）：1 VDC / 十進(jìn)制

輸出信號(hào) 11（Inficon Gemini 輸出 2）：1.33 VDC / 十進(jìn)制

輸出信號(hào) 12（Inficon Gemini 輸出 3）：0.6 VDC / 十進(jìn)制

輸出信號(hào)分辨率：16 位 (150 µV)

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值（可選）：50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)耐久性：無限制（無機(jī)械磨損）

工作環(huán)境溫度：-40 至 +50 ℃ (-40 至 +122 ℉)

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃ (-58 至 122 ℉)

存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-40 至 +125 ℃ (-40 至 +257 ℉)

Max介質(zhì)壓力：10 bar

安裝位置：任意

防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護(hù)：是

過壓保護(hù)：是

內(nèi)部保險(xiǎn)絲：100 mA（可熱恢復(fù)）

真空工藝法蘭材料：SS 1.4401 / AISI 316 不銹鋼

外殼材料：SS 1.4307 / AISI 304L 不銹鋼 / 鋁 6061

真空暴露材料（介質(zhì)潤濕）：316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO₂、Si₃N₄、金、Viton、低放氣環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

固態(tài)設(shè)定值控制繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)證： 文件 E76270

CSA 認(rèn)證： 證書 1175739：通過 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

MTBF（平均故障間隔時(shí)間）：13.092.170 小時(shí)/1494 年

故障率 FIT（及時(shí)故障，時(shí)間=10E+9 小時(shí)）：76,38

負(fù)載鎖控制、半導(dǎo)體加工、PVD 涂層、分析儀器、真空爐、空間模擬