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VACGEN防漏閥ZLVM940

產(chǎn)品介紹

泄漏閥用于對從外部進入真空系統(tǒng)的氣體流量進行可重復(fù)的準確控制。該系列泄漏閥是需要經(jīng)濟有效的精細和超精細氣體入口控制的系統(tǒng)制造商的適配之選。LVM 系列在寬動態(tài)范圍內(nèi)具有良好的響應(yīng)和可重復(fù)性。其設(shè)計幾乎去除了滯后現(xiàn)象,而且內(nèi)部體積小,可快速清理。LVM 閥門配備的超精細控制執(zhí)行器可提高性能,從而提供高靈敏度。

性能特點

手動全金屬直角

入口壓力高達 10 巴,提供高穩(wěn)定性控制

控制機構(gòu),反向間隙小

可調(diào)刻度分度環(huán)

動態(tài)范圍廣

可提供各種安裝法蘭

用戶可自行維修

304 L 不銹鋼機身和馬洛里密封墊

工作壓力范圍為 10 至 11 mbar

可烘烤至 450 ℃

提供電動選項

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:英國

DN 類型:DN 19

軸向/徑向法蘭:Fixed 34

進口管外徑:6.4 mm

出口管外徑:14 mm

Max入口壓力:10 bar

Max工作范圍:100 mbar

Min工作范圍:1x10-11 mbar

打開時傳導(dǎo)率:0.1 l.s-1

泄漏率 關(guān)閉:1x10-12 mbar.l.s-1

開啟烘烤溫度:450 ℃

關(guān)閉烘烤溫度:250 ℃

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

對從外部進入真空系統(tǒng)的氣體流量進行可重復(fù)的準確控制


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