ENTEGRIS空氣過(guò)濾器CMP
- 品 牌：ENTEGRIS
- 型 號(hào)：CMP
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技術(shù)資料：
Entegris空氣過(guò)濾器CMP.pdf
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產(chǎn)品介紹
CMP化學(xué)空氣過(guò)濾器對(duì) 22 nm 及以下波長(zhǎng)的各種空氣分子污染物提供全面保護(hù)。保護(hù)工藝設(shè)備和晶圓免受空氣分子污染的破壞性影響。
性能特點(diǎn)
- 防止 22 nm 及以下的 AMC
- 針對(duì)酸性污染物的平衡介質(zhì)混合
- 去除關(guān)鍵的酸、堿和有機(jī)物以降低污染風(fēng)險(xiǎn)
技術(shù)參數(shù)
津公網(wǎng)安備12010102000945號(hào)
