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KURT J LESKER矩形傳輸閥V70S Series

產品介紹

V70S 系列矩形閘閥采用創(chuàng)新的雙氣缸設計,與標準 V74 系列相比,占地面積更小。該閥采用與 V74 相同的 L-Motion 機構,并具有可拆卸的頂蓋,便于閘門密封維護。

性能特點

  • 可拆卸閥殼蓋
  • 半標準應用(Semi E21-94、Semi E24-92、Semi E21.1-1296)
  • L-motion 連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實現更快、更平穩(wěn)的驅動,同時降低振動
  • 閥蓋法蘭真空側的防塵密封,幾乎消除顆粒進入波紋管
  • 機械鎖定,因此在閘門行程結束時閥門鎖定到位
  • 焊接波紋管執(zhí)行器密封
  • 閥蓋法蘭螺栓設計有保持器,以防止螺栓在拆卸時脫落

可選功能與配件

可定制尺寸

各種 O 型圈化合物(Kalrez、Chemraz 等)

技術參數

產品尺寸

產品應用

等離子蝕刻、CVD、濺射沉積

太陽能電池板的制造

半導體加工

LCD/平板工藝

所有其他集群真空系統(tǒng)


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