XY 軸載物臺,通過在手動載物臺上添加壓電輔助機構(gòu),可以進行 20nm 或更小的微調(diào)。 非常適合需要高分辨率位置調(diào)整的手動平臺單元和系統(tǒng)??商峁?25x25、40x40、60x60mm 的載物臺尺寸。
注:
安裝載物臺時,請注意不要讓千分尺支架受到震動。 否則,壓電輔助機構(gòu)可能會損壞。
壓電輔助專用控制器(PASC)的電源關(guān)閉時,壓電輔助的位置調(diào)整將改變,微調(diào)位置將移動。
載物臺尺寸 [mm]:60×60
行程軸:XY 軸
粗調(diào)行程 [mm]:±6.5
精細驅(qū)動行程 [μm]:>30μm
千分尺位置:側(cè)面
行程/旋轉(zhuǎn) [mm] :0.5
千分尺可讀分辨率 [mm] :0.01
壓電分辨率:<20nm
導(dǎo)向方式:延伸接觸球軸承導(dǎo)向
主要材料:鋁
涂層:黑色陽極氧化
負(fù)載能力 [N] :49(5kgf)
行程精度/直線度 [μm] :3
力矩容量max.:
間距 [N?m] :4.9
滾動 [N?m] :4.9
偏航 [N?m] :4.9
力矩剛度
間距 [″/N·cm] :0.6
滾動 [″/N?cm] :0.6
平行度 [μm] :50
正交性 [μm] :10
運行平行度 [μm] :20
重量 [kg] :0.5