BOC EDWARDS低溫泵ON-BOARD IS 320FX

On-Board IS 320FX 低溫泵專為應(yīng)對(duì)當(dāng)今離子注入工藝的挑戰(zhàn)而開發(fā)，可提供更高的氫氣泵送速度和容量，同時(shí)保持您對(duì) On-Board的所有質(zhì)量、性能和可靠性優(yōu)勢(shì) IS 320FE 低溫泵。On-Board IS 320FX 低溫泵旨在提供高的氫氣真空抽速和容量，以提高產(chǎn)品產(chǎn)量和工具產(chǎn)量。 基于 Edwards 廣泛的低溫泵設(shè)計(jì)知識(shí)，該低溫泵優(yōu)于所有其他同等尺寸的泵，同時(shí)符合嚴(yán)格的準(zhǔn)則。智能系統(tǒng)控制提供更好的工藝質(zhì)量、真空一致性和正常運(yùn)行時(shí)間，同時(shí)提供實(shí)時(shí)系統(tǒng)知識(shí)以優(yōu)化電機(jī)速度和低溫溫度。針對(duì)不斷變化的熱/氣體負(fù)載條件的自動(dòng)調(diào)整增強(qiáng)了真空一致性并縮短了晶圓間的恢復(fù)時(shí)間。On Board IS 320FX 還可以針對(duì)工藝相關(guān)涂層的堆積進(jìn)行調(diào)整，而不會(huì)影響可靠性或生產(chǎn)力。 

• 專為離子注入應(yīng)用而設(shè)計(jì)
• 智能自調(diào)節(jié)技術(shù)
• 擁有成本更低
• 增加正常運(yùn)行時(shí)間

• 氫氣容量:30L /40L
• 分頻器：300 Torr-L
• ISO 真空法蘭內(nèi)徑：12.6 英寸（320 毫米）