平面 XY 工作臺由稱為壓力器的移動元件組成,它在稱為壓板的特殊“華夫餅狀”表面上的無摩擦空氣軸承上滑動。
單平面上的兩軸 XY 運動
加速到 2g
速度 1 米/秒
高重復性 3 µm
分辨率 1 µm
精度 10 至 25 µm
在單個壓板上具有重疊軌跡的多個強制器
安裝面朝上或倒置
低成本的雙軸定位平臺
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